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中文名称:

三维光学显微镜

英文名称:

3D optical microscope

仪器编号:

暂无

仪器型号:

ContourGT-K

生产厂家:

Bruker公司

放置位置:

先进制造大楼东楼D104精密测量实验室

实验负责人:

任老师 18064093088

功能简介

ContourGT-K三维光学显微镜完善了表面测量和分析的新标准,这套测量系统拥有工业领先的测量性能和灵活性,采用专利白光干涉技术,超大视野内埃级至毫米级的垂直计量范围,具有业界最高的垂直分辨率和测量重复性,凭借其独特的直观用户界面和功能最全的自动化检测、分析功能,方便用户快速高效的获得材料粗糙度、二维/三维表面分析以及高分辨成像,广泛应用于LED、太阳能电池、薄膜材料、MEMS、精密机械零部件、摩擦磨损等各个领域,满足各种表面测量的实际需求。

高分辨测量成像技术

·最高的垂直分辨率

·最大的垂直计量范围

·先进的防震设计,提高测试系统稳定性

·高分辨彩色成像

强大的分析测试软件

·简单高效,人性化的工作流程

·实时自动优化测量

·完整的数据分析软件包

·用户自定义分析报告

技术参数

最大扫描量程

可达10mm

垂直分辨率

<0.01nm

RMS重复性(PSI

0.01nm

横向分辨率

0.38μm min (Sparrow 准则);0.13μm (AcuityXR™);0.01μm (NanoLens)

台阶高度误差

<0.75%

台阶高度重复性

<0.1% 1 σ

最大扫描速度

47μm/sec

样品反射率

0.05% - 100%

最大坡度

40° (光滑面);87° (粗糙面)

样品高度

100mm(4in.)

XY样品台

150mm(6in.)手动或者选择马达驱动

Z调焦范围

100mm(4in.)手动或者选择马达驱动

可倾斜扫描头

±6° 手动

物镜

Parfocal: 2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x, 115x

LWD: 1x, 1.5x, 2x, 5x, 10x

TTM: 2x, 5x, 10x, 20x

Bright field: 2.5x, w5x, 10x, 50x

可用放大镜

0.55x, 0.75x, 1x, 1.5x, 2x

相机

标配: 640 x 480;

高清(可选):1280 x 960

高清(可选):640 x 480

软件系统

基于Windows 7 64位操作系统的Vision64 分析软件

可选软件包

生产模式; AcuityXR; HD VSI;高速自动对焦; 光学分析包; 高级成像模式; 厚膜测试模式; MatLab; SDK

 

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