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[设备]基于红外反射光谱的微纳深沟槽结构测量设备

作者:编辑:发布:2016-04-13点击量:

中文名称:

基于红外反射光谱的微纳深沟槽结构测量设备

英文名称

Fourier Transformation Infrared Spectrometer

仪器编号:

00712398

仪器型号:

MIR8025

生产厂家:

美国NEWPORT公司

放置位置:

微纳加工与测量实验室

  功能介绍    

提出了一种基于修正等效介质理论的光学反射率计算新方法和一种人工神经网络结合Levenberg-Marquardt局部搜索算法的深沟槽参数鲁棒提取方法,研制了一套基于全发射的红外反射光槽测量平台,可实现90nm节点深沟槽尺寸的高精度测量。

  主要技术参数 

·波长范围:2-20μm

·单点测量时间小于3s

·相对误差小于1%

·动态测量可重复误差小于0.5%

  应用范围     

广泛应用于光学领域,也可以应用到物理、化学、材料学、微电子技术、薄膜技术、冶金学、天文学、生物和医学等方面。

 

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