澳门威尼娱乐登录网址[官网]欢迎您!

设备开放

[设备]精密运动机构特性实验平台

作者:编辑:发布:2016-04-13点击量:

中文名称:

精密运动机构特性实验平台

英文名称

Precision Motion Mechanism Characteristic Experiment Platform

仪器编号:

01506841

仪器型号:

 

生产厂家:

自制

放置位置:

微纳加工与测量实验室

  功能介绍    

超精密运动平台有别于传统的精密运动机构,后者多由接触式运动副和刚性结构所组成,摩擦、发热及振动传递等因素制约了这类机构结构的动力学特性,目前这类 机构的运动精度能达到微米级。

技术特点:

1.利用气体润滑理论,建立了气浮气膜的三维力学模型,数值仿真和物理实验结果表明,建模精度较现有的二维模型有较大的提高;

2.采用数值仿真方法,分析了气浮支承中压力腔形状、结构尺寸等结构因素和供气压力、气膜间隙等工艺参数对气旋的影响规律,并通过物理实验方法研究了不同 条件下系统微振动的特性,阐明了气旋是引起系统微振动的主要因素。

  主要技术参数    

·水平向定位精度±0.5μm

·垂向定位精度±0.3μm

·具备气浮轴承支承特性测试功能

  应用范围    

广泛应用于物理、化学、材料学、微电子技术、薄膜技术、冶金学、天文学、生物和医学等方面。

 

Copyright © 华中科技大学澳门威尼娱乐登录网址 版权所有本网站所使用的方正字体由方正电子免费公益授权