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[设备]超声扫描显微镜

作者:编辑:发布:2016-04-13点击量:

中文名称:

超声扫描显微镜

英文名称

Ultrasonic Microscope

仪器编号:

01210520

仪器型号:

D9500

生产厂家:

美国Sono Scan INC

放置位置:

微纳加工与测量实验室

  功能介绍    

超声扫描显微镜是一款新型AMI标准仪器,提供最大分辨率和穿透性及多元化的高频传感器。利用不同材料对超声波声阻抗不同、对声波的吸收和反射程度不同,精准探测半导体、元器件等目标物的内部结构;能将采集的数据迅速转变为可用信息,同时还具备多种分析功能,可以帮助识别各种缺陷,并确定缺陷的严重程度。在AMI成像中,各种彩图直观显示了详细的分析信息。适合破损分析、工艺开发以及材料分析与表征,是目前微/纳米技术研究中非常重要的无损检测设备。

 主要技术参数 

·传感器频率1-500Hz

·探头频率5-450Hz

·XY扫描范围:0.25*0.25mm-330*330mm

·扫描速度:1000mm/s 扫描分辨率:X/Y ±0.5μm

·图像分辨率2048*2048-8192*8192

 应用范围 

1. 微电子:塑封IC,陶瓷电容,倒装,天线基板、导电胶、芯片,印刷电路板(PCB)等

2. 微机械系统:粘结芯片,制造工艺评估,包装

3. 军事/航天/汽车电子:高可靠性资格筛选,产品升级筛选、资格筛选

4. 材料:陶瓷,剥离,金属,塑料,化合物

5. 其他:微阵列芯片,生物芯片,微射流技术,传感器等

 该设备研究应用成果 

973项目:超大规模集成电路制造装备基础问题研究

优秀青年科学基金项目:仿生微纳制造与应用研究

国家自然科学基金面上项目:热/声激励的高密度超细间距倒装焊接缺陷诊断方法研究

面向三维集成器件封装的无焊料高密度通孔垂直互连技术研究

 

 

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